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Plasma diagnostics and devices properties of AlGaN/GaN HEMT passivated with SiN deposited by plasma-enhanced Chemicals vapour deposition
| Título | Plasma diagnostics and devices properties of AlGaN/GaN HEMT passivated with SiN deposited by plasma-enhanced Chemicals vapour deposition |
| Tipo de publicación | Journal Article |
| Año de publicación | 2010 |
| Autores | Romero, MF, Sanz, MM, Tanarro, I, Jiménez, A |
| Idioma de publicación | English |
| Revista académica | Journal of Physics D: Applied Physics |
| Volumen | 43 |
| Número | 49 |
| Páginas | 1-8 |
| Fecha de publicación | noviembre/2010 |
| ISSN | xxx |
| DOI | 10.1088/0022-3727/43/49/495202 |