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Plasma diagnostics and devices properties of AlGaN/GaN HEMT passivated with SiN deposited by plasma-enhanced Chemicals vapour deposition

Título	Plasma diagnostics and devices properties of AlGaN/GaN HEMT passivated with SiN deposited by plasma-enhanced Chemicals vapour deposition
Tipo de publicación	Journal Article
Año de publicación	2010
Autores	Muñoz, E, Romero, MF, Sanz, MM, Tanarro, I, Jiménez, A
Idioma de publicación	English
Revista académica	Journal of Physics
Volumen	43
Número	49
Páginas	1-8
Fecha de publicación	2010
ISSN	1088-0022
DOI	10.1088/0022-3727/43/49/495202